全国：（i1）高歪みウエハに対応した高精度露光装置開発【GX】ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（補助）

【応募要件】
・補助対象事業者
補助事業者は、次の要件(交付規程第 5 条等)を満たす、単独ないし複数で補助を希望す
る、企業・大学等であることが必要です。ただし、研究機関等による単独提案は不可とし、
国立研究開発法人が応募する場合、国立研究開発法人から民間企業への委託又は共同研究
(委託先又は共同研究先へ資金の流れがないものを除く。)は、原則認めておりませんので
ご留意ください。
i. 補助事業を的確に遂行するに足る技術的能力を有すること。
ii. 補助事業を的確に遂行するのに必要な費用のうち、自己負担分の調達に関し十分
な経理的基礎を有すること。
iii. 補助事業に係る経理その他の事務について的確な管理体制及び処理能力を有す
ること。
iv. 当該補助事業者が遂行する補助事業が、別途定める基本計画を達成するために十
分に有効な研究開発を行うものであること。
v. 当該補助事業者が補助事業に係る企業化に対する具体的計画を有し、その実施に
必要な能力を有すること。
vi. 本邦の企業・大学等で日本国内に研究開発拠点を有していること。なお、国外の
企業・大学等(研究機関を含む)の特別な研究開発能力、研究施設等の活用又は
国際標準獲得の観点から国外の企業・大学等との連携が必要な場合は、国外の企
業・大学等も参画する形で実施することができる。
vii. 当該補助事業者が補助事業を国際連携による共同研究案件として実施すること
を目指している場合は、連携する国外の企業等(補助対象事業者には含まない)
と共同研究にかかる契約・協定等を締結すること(又は連携の具体的予定を示す
こと)ができること。また、知財権の取扱いを適切に交渉、管理する能力を有す
ること。

viii. 補助事業の実施を通じ、「GX リーグ参画企業に求める取組(https://gx-
league.go.jp/rules/gx-guidance/)」と同様の GX に係る取組を実施することを

想定し、現在実施している内容及び交付決定した場合において実施する内容を
(別添 8)の「GX に係る取組申告書」に記載し、これを提出すること。また、「GX
に係る取組申告書」には、補助事業の実施による脱炭素(二酸化炭素削減)効果
や目標、それらを定量的に把握するための体制・方法等について記載すること。

・補助対象事業
補助事業として次の要件を満たすことが必要です。
i. 補助事業が、研究開発計画に記載された内容の実用化開発を行うものであること。
ii. 補助事業終了後直ちに実用化を目指す上での開発計画、投資計画、実用化能力の
説明を行うこと(提案書の添付資料 2「事業化計画書」中に記載してください。)。
iii. 補助事業終了後、本事業の実施により、国内生産・雇用、輸出、内外ライセンス
収入、国内生産波及・誘発効果、国民の利便性向上等、様々な形態を通じ、我が
国の経済に如何に貢献するかについて、バックデータ※も含め、具体的に説明す
ること(提案書の添付資料 1「補助事業実施計画書」の「1.(1)3事業による効
果」中に記載してください。)(我が国産業の競争力強化及び新規産業創出・新規
企業促進への波及効果の大きな提案を優先的に採択します。)。
※バックデータ:上記の基礎となる主要な事項(背景、数値等)
iv. なお、当該補助事業終了後、追跡調査や特許等の取得状況及び事業化状況調査に
ご協力いただく場合があります。
v. 補助事業の事務処理については、NEDO が提示する事務処理マニュアルに基づき
実施すること。
vi. 脱炭素成長型経済構造移行推進戦略※を踏まえて、CO2 の排出削減に向けた野心
的な目標を掲げるなど世界規模でのカーボンニュートラルの実現及び日本の産
業競争力の強化のためのイノベーションを創出しうるものを対象とし、デジタル
化や電化等の対応に不可欠な省エネ性能の高い半導体等の開発であること。また、
脱炭素成長型経済構造移行推進戦略にある「国による投資促進策の基本原則」に
則したものであること。
※https://www.meti.go.jp/press/2023/07/20230728002/20230728002-1.pdf