機械装置・工具器具費
・機械の購入及び借用に要する経費
・機械装置等の製作に必要な部品、工具・器具・試作用機材・備品の購入及び借用に要する経費（ポンプ、測定器等）
消耗品・原材料費
・研究開発に直接使用する消耗品、主要原料、主要材料、副資材の購入に要する経費
※消耗品は、原則使用可能機関が１年未満のもので、かつ10万円未満のもの。
外注加工費
・研究開発等に必要な原材料の再加工及び設計等を外注する経費
調査外注費
・研究開発等に必要な分析等の調査や市場調査等を外注する経費
技術指導受入費
・技術指導を受けた者への納付金等の経費
共同研究費
・他の企業、大学、試験研究機関等と連携して行う共同研究に要する経費（事業計画の研究の一部かつ課題の役割分担が明確になっている共同研究の部分に限る）。
直接人件費
・研究開発に直接従事する者の直接作業時間に対して支払われる経費
※直接人件費＝直接作業時間×時間給額
直接作業時間は1,800 時間を限度とし、直接作業時間が1,800時間を超える者は1,800 時間とする。時間給額は2,500 円を限度とし、時間給額が2,500 円を超える者は2,500 円とする。
「直接人件費」の時間給額は、下記の式により算出するものとする。ただし、給与形態が年俸制の場合は、年俸金額を年間所定労働時間で除した値とする。
【時間給額＝（年間基本給＋年間諸手当）÷年間所定労働時間】
ここで、諸手当とは、家族手当、住宅手当、法定福利費（事業者負担分とする。ただし、第二厚生年金等通常の基金より上乗せする経費は除く。）、管理職手当（技能職に対する手当を含む。）及び賞与とし、時間外手当は除く。
※直接人件費は、補助金総額の40％を上限とする。
知的財産取得費
・当該研究開発に関する特許等の取得に要する弁理士の手続き代行経費や翻訳料などの経費
※今回の研究開発等の成果に係る発明等でないものは対象外。
※知的財産権の取得に要する経費のうち、下の経費については対象外。
－日本の行政庁に納付される出願手数料等(出願料,審査請求料,特許料等)
－拒絶査定に対する審判請求又は訴訟を行う場合に要する経費
※他の制度により知的財産権の取得について支援を受けている場合は、本経費に計上できない。
※国際規格認証等の取得に関する経費は、対象とする。
その他の経費
・試験、検査、実験及びデータの分析、解析、測定等に要する経費
※試作品評価、機械の使用料・テスト費用
関連する補助金